“许董，按照目前的情况来看，我们集团公司生产的激光光🀾路系统应该🝼🐡能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握，并没🂬有把情况说死。他还是有点担心这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。
光刻机的原理和照相机的原理基本一样，都是用曝光来成像。但第三代光刻机的精度非常高，最低可达到0018微米。倘若再使用ffet制程技术和浸润式光刻制程🕍技术，🚱🗊🙾精度要达到001微米以下。
由此可以想到，第三代光刻机对激光光源的功率、稳定性的要求肯定非常高，一般的👘国家不能生产这种尖端设🃋🃋备。这也是胡明镇所担心的事情。
胡明镇一边说话，一边指挥着李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密设备。这套装配流程非常重要，能直接影响到激光📀🗭光路系统的精度和可靠性，胡明镇不得不小心行事。
“装配工作什么时间能完成？”
看到李全等人的进度不是很快，💊🐇许振鸣认为站在这里没啥意思，准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前🇧，他向胡明镇要了一份这台光刻机装配和调试的工程进度表。
“许董，如果🕁一切顺利，我们会在元月28日左右开始试生产，并且用这台光刻机来流片。”胡明镇比较忙，跟许🟋🛢🞂振鸣说了几句，又开始投入工作。
许振鸣🈗见此，拿着一🎢摞☾🄿用a4纸打印的资料，一边翻看着一边朝隔壁的车间走去。
“三天内完成设备组装和安装，五天内调试好这台设备，第九天以后开始做试生产的准备嗯，🔠这个计划还算可以🕭🌲。”
许振鸣一边走路一边颔首点头，💊🐇认为胡🎭明镇的工作做得不错，准备很充分。
不多久🈗，他来到4号钢构厂房的另外一个光刻室。
这间光刻室是用来安装国产光刻机的生产车间🗲🟣。
车间里此时也非常忙碌，万宁古、何昌林和郝宁等人也🛓正在装配第三代光😍刻机。
他们这边的进度好像要快了许多，激光光路系统的部🙒件已经组装完成，光刻机的主体系统也已🔠经组装好。万古宁等人正在召开现场讨论会，好像要准备进行光刻机的总装工序。
看到这种情况，许振鸣倒是不理解，“老万，🗲🟣你们这边的进度为啥要快一些？”
“许董，这台光🈞⛄刻机的主要部件我们都已经准备好，就等着总装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货，其实根本不要💓👘检验其性能。最关键的事情就看光刻机总装以🁗🅸后的效果。
“光刻机的精度主要是受主体系统、底座、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统精度不够，我们的项目还是没成功。”😛