“许董☛⛱🞌,按照目前的情况来看,我们集团公司生产的激光🂤🐮🃑光路系统应该能跟老外的光刻机配套。”胡明镇只有九层把握,并没有把情况说死。他还是有点担心这套激光光路系统不能提供精准的激光光源。
光刻机的原理和照相机的原🅅🄍理基本一样🖜,都是用曝光来成像。但第三代光刻机的精度非常高,最低可达到0018微米。倘若再使用ffet制程技术和浸润式光刻制程技术,精度要达到001微米以下。
由此可以想到,🔋⚪🔐第三代光刻机对激光光源的功率、稳定性的要求肯定非常高,一般的国家不能生产这种尖端设备。这也是胡明镇所担心的事情。
胡明镇一边说话,一边指挥着李全等人怎么组装激光发生器、光学仪器、光学镜头等精密📑🚅设备。这套🁉🄀装配流程非常重要,能直接影响到激光光路系统的精度和可靠性,胡明镇不得不小心行事。
“装配工作什么时间能完成?”
看到李全等人的进度不是很快,许振鸣认为站在这里没啥意思,准备再去隔壁车间巡视一下。临走之前,他向胡明镇要了一份这台光刻机装配和调试的工程进度📞表。
“许董,如果一切顺利,我们会在元月28日左右开始试生产,并且用这台光刻机🟀🚇来流片。”胡明镇比较忙,跟许振鸣说了几句,又开始投入工作。
许振鸣见此,拿着一摞用a4纸打印🅇的资料,一边翻看着一边朝隔壁的车间走去。
“三天内完成🝵🏜🚺设备组装和安装,五天内调试好这台设备,第九天以后开始做试生产的准备📑🚅嗯,这个计🁉🄀划还算可以。”
许振鸣一边走路一边颔首点头,认为胡明镇的工作做得不错,准🍑🙀备很充分。
不多久,他来🝵🏜🚺到4号🖁钢构厂房的🗷☩🂁另外一个光刻室。
这🗂😰间光刻室是用来安装国产光刻机的生产车间。
车间里此时也🝵🏜🚺非常忙碌,万宁古、何🅇昌林和郝宁等人也正在装配第三代光刻🂑🎂🎒机。
他们这边的进度好像要快了许多,激光光路系统的部件已经组装完成,光刻机的主体系统也已经组装好。万古宁等人正在召开现场讨论会,好像要准备进行🅄🄃光刻机的总装工🔤🂦序。
看到这种情况,许振鸣倒是不理解,“老🞴😘🁩万,你们这边的进度为啥要快一些?”
“许董,这台光刻机的主要部件我们都已经准备好,就等着总装和调试。”万宁古告诉许振鸣这台光刻机的激光光路系统是进口货,其实根本不要检验其🅴性能。最关键的事情就🟌🛬看光刻机总装以后的效果。
“光刻机的精度主要🖁是受主🅅🄍体系统、底座、横移、减震等子系统的影响。万一这台设备的主体机械系统🕏🈤⛾精度不够,我们的项目还是没成功。”